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项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购

招标项目编号：1289-264026ZB0317

招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 1 栅氧化炉设备 1台 用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。

招标机构：华采招标集团有限公司

招标人：北京燕东微电子股份有限公司

开标时间：*开通会员可解锁* 10:00

公示开始时间：*开通会员可解锁* 13:03

评标公示截止时间：*开通会员可解锁* 23:59

中标候选人名单：