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项目名称：紫外曝光系统（第二次）

招标项目编号：2947-264hs2026g04

招标范围：紫外曝光系统 1套 (含原厂光强计，光刻机专用吸片真空泵，分区曝光测试板，压缩空气过滤器。LED 光源，波长365nm，405nm，436nm；光强计和400nm探头一套；双面对准功能；自动对准功能；顶部物镜2个5X；底部物镜2个5X；掩模板框架5吋，7吋，9吋各一套；晶圆光刻夹具2吋，4吋，6吋，8吋各一套。具体指标详见技术规格)

招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司

招标人：乾元国家实验室

开标时间：*开通会员可解锁* 09:30

公示时间：*开通会员可解锁* 15:40 - *开通会员可解锁* 23:59

中标结果公告时间：*开通会员可解锁* 16:21

中标人：乾康光电科技有限公司

制造商：苏斯微技术解决方案两合有限责任公司

制造商国家或地区：德国