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上海国际招标有限公司关于国家集成电路创新中心光学关键尺寸 OCD 量测设备

的公开招标公告

（招标编号：1906006056）

项目所在地区：上海市

一、招标条件

本国家集成电路创新中心光学关键尺寸 OCD 量测设备已由项目审批/核准/备案机关批

准，项目资金来源为其他资金企业研发经费，招标人为上海集成电路制造创新中心有限公司。

本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。

二、项目概况和招标范围

规模：采购光学关键尺寸 OCD 量测设备 1 台，2025 年 12 月 30 日前到货并完成验收。

半导体光学关键尺寸（Optical Critical Dimension OCD）量测设备，能实现亚纳米级量测，

表征集成电路制造前道工艺中复杂的 3D 结构或器件，是先进工艺制程重要的良率监控方案。

OCD 设备能实现 3D 结构或器件的多维度尺寸量测，包括关键尺寸（Critical Dimension CD）

、

间距、

侧壁角度

（Side Wall Angle SWA）

、

高度

（Height）

等。

相比其他高端光学量测方案，

OCD

量测的优势包括：非接触量测、不损坏被量测样品、高量测吞吐率、高测试精度。

范围：本招标项目划分为 1 个标段，本次招标为其中的：

(001)光学关键尺寸 OCD 量测设备;

三、投标人资格要求

(001 光学关键尺寸 OCD 量测设备)的投标人资格能力要求：

（1） 在中华人民共和国境内（不包括香港、澳门及台湾地区）登记成立的法人或非法人组

织；

（2） 法人的分支机构以自己的名义参与投标时，

应提供依法登记的相关证明材料和由法人

出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承诺；

（3） 参加本次招标活动前三年内（从 2022 年 10 月 28 日至今）未被列入严重失信主体、

失信被执行人或重大税收违法失信主体；

（4） 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（5） 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（6） 具备可靠的售后服务能力，拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服

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务；

（7） 若投标人不是投标货物的制造商，则必须提供制造商出具的针对本项目的有效授权

书；

（8） 具备法律、行政法规规定的其他条件；;

本项目

不允许联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间：从 2025 年 10 月 28 日 09 时 00 分到 2025 年 11 月 04 日 16 时 00 分

获取方式：在上海国际招标有限公司网站（www.shabidding.com）在线领购招标文件。

招标文件每套售价 500 元，售后不退。潜在投标人首次使用该网站需进行免费注册，注册时

应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》

（可从供应商注册页面下载）和营业执照

等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人

可从网站采购公告栏的相应公告中进入在线领购招标文件流程。潜在投标人提交领购申请并

支付费用到账后即可下载电子招标文件。招标代理机构会将纸质招标文件快递给潜在投标

人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。未按规定获取招标文件的潜在投标人将被拒绝参加

投标。

五、投标文件的递交

递交截止时间：2025 年 11 月 18 日 09 时 30 分

递交方式：上海市延安西路 358 号美丽园大厦 19 楼 1901 会议室纸质文件递交

六、开标时间及地点

开标时间：2025 年 11 月 18 日 09 时 30 分

开标地点：上海市延安西路 358 号美丽园大厦 19 楼 1901 会议室

七、其他

无

八、监督部门

本招标项目的监督部门为/。

九、联系方式

招 标 人：上海集成电路制造创新中心有限公司

地 址：中国（上海）自由贸易试验区碧波路 690 号 401-23 室

联 系 人：朱老师

电 话：*开通会员可解锁*

电子邮件：baozhu@shnicic.com

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招标代理机构：上海国际招标有限公司

地 址： 上海市延安西路 358 号 14 楼

联 系 人： 张靖姝、罗曦

电 话： *开通会员可解锁*、*开通会员可解锁*

电子邮件： zhangjingshu@shabidding.com 、luoxi@shabidding.com

招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）

招标人或其招标代理机构： （盖章）