上海国际招标有限公司关于科学仪器创新港能力建设项目(一期)原子层沉积设

备采购的招标公告

(招标编号:2526002019)

项目所在地区:上海市

一、招标条件

本科学仪器创新港能力建设项目(一期)原子层沉积设备采购已由项目审批/核准/备案 机关批准,项目资金来源为国有资金 480万元,招标人为上海仪创港科技有限公司。本项目 已具备招标条件,现招标方式为公开招标。

二、项目概况和招标范围

规模:原子层沉积设备

范围:本招标项目划分为1个标段,本次招标为其中的:

(001)科学仪器创新港能力建设项目(一期)原子层沉积设备;

三、投标人资格要求

(001 科学仪器创新港能力建设项目(一期)原子层沉积设备)的投标人资格能力要求:

(1) 在中华人民共和国境内(不包括香港、澳门及台湾地区)登记成立的法人或非法人 组织:

(2) 法人的分支机构以自己的名义参与投标时,应提供依法登记的相关证明材料和由法人 出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承诺;

(3) 投标人应为原子层沉积设备的专业制造商或是获得原子层沉积设备制造商授权的代 理商。如是代理商投标,则须提供原子层沉积设备制造商出具针对本项目的制造商授权书原 件:

(4) 参加本次招标活动前三年内(从*开通会员可解锁*至今)未被列入严重失信主体、失 信被执行人或重大税收违法失信主体,须提供"失信被执行人"、"政府采购严重违法失信行 为记录名单"、"重大税收违法失信主体"的三张查询结果截图;

(5) 投标人的出资人(不含上市公司持股比例未达到5%的股东,下同)与本项目其他投标 人的出资人应不相同(当两家以上投标人的出资人中含有同一主体时,将按一家有效投标人 计算,该投标人为相关投标人中通过初步评审目投标报价最低的投标人,其他投标人将被判 为无效投标人):

(6) 具备法律、行政法规规定的其他条件;

(7) 本项目不接受联合体投标。;

本项目不允许联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间:从*开通会员可解锁* 15时00分到*开通会员可解锁* 15时00分

获取方式:在上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com)在线获取招标文件

五、投标文件的递交

递交截止时间:*开通会员可解锁* 10时00分

递交方式:上海市延安西路 358号美丽园大厦 20 楼 2001 会议室纸质文件递交

六、开标时间及地点

开标时间:*开通会员可解锁* 10时00分

开标地点:上海市延安西路 358号美丽园大厦 20楼 2001 会议室

七、其他

一、招标条件

本招标项目已由相关单位批准,项目资金来源为国有企业投资,招标人为上海仪创港科技有 限公司。本项目已具备招标条件,招标方式为公开招标。

二、项目概况和招标范围

本项目聚焦精密光学加工中心建设,对标国际先进水平,实现科学仪器关键零部件在地化生

产,构建精密制造能力闭环。

货物名称:原子层沉积设备

数量:1台;

用途 用于在光学元件及精密零部件表面沉积高质量、纳米级厚度的功能性薄膜,实现原子 层级的精确控制,用于制备光学增透膜、反射膜、保护膜以及特种光学涂层,显著提升器件 的光学性能、环境稳定性和使用寿命。主要规格:

1) 核心功能与适用范围 设备需用于沉积 A1z03、TiO2、SiO2等高质量薄膜,适用于最大直 径 300mm(12英寸)及以下的衬底/基底材料,兼容热法及等离子体增强两种工艺模式。

2) 腔体结构与温控性能:采用真空腔内置反应腔的双腔体结构,反应腔需采用外部环绕对 称辐射加热方式,确保腔内温度均匀性。热法工艺最高加热温度不低于500℃,等离子工艺 不低于 300℃。

3) 前驱体输送与处理系统:需配置≥2路加热型前驱体源系统(温度≥300℃)和≥3路常

温液态源系统,均具备精确温控(精度≤±2℃)。管路系统需配置在线惰性气体自动挣化功 能,并对有毒性气体管路配备双安全互锁硬件。

4)真空、传片与安全系统配置干式真空泵(极限压力≤1.5×10-2 Torr)及集成传片装置实 现样品在不破真空条件下传送。配备具备自清洁功能的泵前尾气过滤装置,以处理并灭活反 应副产物。

5)等离子体增强功能 需集成1套电容耦合射频(13.56MHz,功率≥300W)等离子体系统, 配备匹配器、专用气体管路及集成盖板,以支持等离子体辅助沉积工艺。

6) 控制系统与工艺性能:采用 PLC 与计算机集成控制,具备实时工艺监测、数据导出及安 全互锁功能。

具体的技术规格详见本招标文件第五章"采购需求"。

本次招标的最高投标限价为 480万元人民币。

三、投标人资格要求

(1) 在中华人民共和国境内(不包括香港、澳门及台湾地区)登记成立的法人或非法人组 织;

(2) 法人的分支机构以自己的名义参与投标时,应提供依法登记的相关证明材料和由法人 出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承诺;

(3) 投标人应为原子层沉积设备的专业制造商或是获得原子层沉积设备制造商授权的代 理商。如是代理商投标,则须提供原子层沉积设备制造商出具针对本项目的制造商授权书原 件:

(4) 参加本次招标活动前三年内(从*开通会员可解锁*至今)未被列入严重失信主体、失 信被执行人或重大税收违法失信主体,须提供"失信被执行人"、"政府采购严重违法失信行 为记录名单"、"重大税收违法失信主体"的三张查询结果截图;

(5) 投标人的出资人(不含上市公司持股比例未达到5%的股东,下同)与本项目其他投标 人的出资人应不相同(当两家以上投标人的出资人中含有同一主体时,将按一家有效投标人 计算,该投标人为相关投标人中通过初步评审且投标报价最低的投标人,其他投标人将被判 为无效投标人);

(6) 具备法律、行政法规规定的其他条件;

(7) 本项目不接受联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间:从*开通会员可解锁*15时00分到*开通会员可解锁*15时00分

获取方式 在上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com)在线获取招标文件。招标 文件每套售价1000元,售后不退。潜在投标人首次使用该网站需进行免费注册,注册时应 按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》(可从供应商注册页面下载)和营业执照等 扫描件,供应商应当提前准备,尽早办理,以免影响获取招标文件。已注册的潜在投标人可 在登录网站后通过快捷入口"项目公告" - "立即参与" -"提交资料" -"支付费用" - "下 载文件"获取招标文件。招标代理机构会将纸质招标文件快递给潜在投标人,电子发票将发 至投标人登记的邮箱。未按规定获取招标文件的潜在投标人将被拒绝参加投标。

五、投标文件的递交

递交截止时间:*开通会员可解锁*10时00分(北京时间)

递交方式:上海市延安西路 358号美丽园大厦 20楼 2001 会议室纸质文件递交

六、开标时间及地点

开标时间:*开通会员可解锁*10时00分(北京时间)

开标地点:上海市延安西路 358号美丽园大厦 20楼 2001 会议室

七、其他

本项目为集中采购目录以外且金额未达到分散采购限额标准的项目,不适用《中华人民共和 国政府采购法》及其实施条例等政府采购的相关规定。

八、监督部门

本招标项目的监督部门为上海仪创港科技有限公司。

九、联系方式

招标人:上海仪创港科技有限公司

地 址:上海市松江区莘砖公路 518号 6 幢

联系人:张艳

申 话:*开通会员可解锁*

电子邮件:hjnname@126.com

招标代理机构:上海国际招标有限公司 地 址:上海市延安西路 358号美丽园大厦 14 楼 联系人:吴越、樊宏亮

电话:*开通会员可解锁*、32173675

电子邮件:rebeccawu@shabidding.com、fanhongliang@shabidding.com

八、监督部门

本招标项目的监督部门为上海仪创港科技有限公司。

九、联系方式

招 标 人:上海仪创港科技有限公司

地 - 址:上海市松江区莘砖公路 518号 6幢

联 系 人:张艳

话:*开通会员可解锁* 电

电子邮件:hjnname@126.com

招标代理机构:上海国际招标有限公司

地 - 址: 上海市延安西路 358号 14 楼

联 系 人: 吴越

电 话: *开通会员可解锁*

电子邮件:zhaolili@shabidding.com

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