一、项目基本情况

项目编号：JSZC-320400-CZCT-G2026-0006

项目名称：常州大学集成电路产教融合创新平台-等离子体增强化学气相沉积采购项目

预算金额：150.000000万元

最高限价（如有）：150.000000万元

采购需求：

本项目为常州大学集成电路产教融合创新平台-等离子体增强化学气相沉积采购项目，拟采购等离子体增强化学气相沉积1套。设备主要由反应腔、真空系统、等离子体系统、气体输送及流量控制系统、晶圆传输及控制系统等组成；主要应用于沉积SiO₂、SiNₓ、SiON 等介质薄膜，可用于集成电路制造的钝化层、结构层、牺牲层厚膜的高速沉积。

合同履行期限：合同签订后12个月内完成合同范围内所有设备的供货、安装调试、验收并投入使用。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、申请人的资格要求：

（一）满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：

1.营业执照副本（事业单位法人证书）

2.法人授权书

3.投标人资格声明

4.投标人信用记录

5.信用承诺

（二）落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目不专门面向中小企业预留采购份额。

（三）本项目的特定资格要求：

1.1本项目是否接受分支机构参与投标：否。

1.2本项目是否属于政府购买服务：否。

1.3其他特定资格要求：无。

三、获取招标文件

时间：自招标文件公告发布之日起5个工作日

地点：**********

方式：在******平台自行免费下载采购文件。注：供应商必须登录*****系统下载电子采购文件方可通过系统进行投标（响应）文件的编制和提交。

售价：*******

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

*开通会员可解锁* 09:00 （北京时间）

地点：*****

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。