广东省科学院半导体研究所2025年10月至2025年12月政府采购意向
发布时间：
2025-10-29
发布于
广东广州
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公告标题：广东省科学院半导体研究所*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向
公告发布时间：*开通会员可解锁* 15:24:16
公告性质：正常公告
公告编号：8a7e419e9a2ec7fa019a2ecb463200a4
公告内容
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 广东省科学院半导体研究所面板级ABF等离子蚀刻设备采购项目 | 标的名称：面板级ABF等离子蚀刻设备 标的数量：1 主要功能或目标：清除盲孔侧壁和底部金属表面残留树脂材料（如ABF）；蚀刻树脂材料的表面提高与RDL结合力;蚀刻残留光刻胶：去除CD开口底部残留光刻胶；蚀刻样品表面残留树脂材料和材料光刻胶（光刻胶退膜后残留影响种子层金属蚀刻）。提高RDL与树脂表面结合力。 需满足的要求：1、具备等离子清洗、活化、除胶、刻蚀等功能 2、产品尺寸 ≥510mm*515mm 3、气路数量≥5路（可支持O2、N2/H2、Ar、SF6、CF4） 4、电源RF功率≥2000W 5、清洗温度≤45℃，刻蚀温度≤70℃ 6、刻蚀均匀性 ≤10% 7、ABF蚀刻速率≥0.5μm/min（无粉尘） 8、流量控制精度误差≤满量程的1% 9、可实时监测基材温度 |
落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况。 | 1,700,000.00 | *开通会员可解锁* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东省科学院半导体研究所
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